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真空爐是一種高溫真空設(shè)備，主要由爐體、加熱元件、真空體系、氣體放控體系、記錄儀等部分組成。

真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。依據(jù)爐子用處,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動(dòng)澆注設(shè)備和裝卸料的機(jī)械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。

真空淬火（回火、退火）就是經(jīng)過把資料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來到達(dá)預(yù)期性能的一種處理方法。

真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)3000℃左右。首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。

真空爐石墨導(dǎo)電桿是一種以石墨為主要原料制成的導(dǎo)電資料，具有高導(dǎo)電率、低電阻、耐高溫、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)。石墨導(dǎo)電桿可以用于各種電熱設(shè)備、電解槽、電鍍?cè)O(shè)備等需要高導(dǎo)電功能的場(chǎng)合。

真空爐石墨銜接片是一種廣泛應(yīng)用于高溫、高壓、腐蝕等惡劣環(huán)境中的銜接元件，其作業(yè)原理首要根據(jù)石墨的優(yōu)異功能。石墨是一種由純碳組成的礦物，具有極高的耐腐蝕性、杰出的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性，以及較低的熱膨脹系數(shù)等特色。這些特色使得石墨銜接片在各種極端環(huán)境下都能保持穩(wěn)定的功能。

真空燒結(jié)爐是指在真空環(huán)境中對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，其加熱辦法比較多，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。真空燒結(jié)爐是運(yùn)用感應(yīng)加熱對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，可以歸屬于真空燒結(jié)爐的子類。